编写教材的这十年里，复旦大学微电子学科继续发展。2013年，微电子学院成立，并于两年后成为首批获批建设的国家示范性微电子学院。2019年，微电子学院在全国率先试点建设“集成电路科学与工程”一级学科。2022年初，复旦大学集成电路科学与工程学科入选新一轮“双一流”建设学科。

2021年是谢希德先生的百年诞辰，李炳宗希望以此书纪念中国半导体科学技术的开拓者和复旦微电子学科的奠基人谢希德。

三十年如一日教学相长，为国家培养集成电路人才

李炳宗在苏联

“世界是你们的，也是我们的，但是归根结底是你们的。你们青年人朝气蓬勃，正在兴旺的时期，好像早晨八九点钟的太阳，希望寄托在你们身上……”

1957年，毛泽东在列宁山上的莫斯科大学礼堂上对中国青年寄予了热切的嘱托，彼时，在苏联留学的李炳宗就坐在台下，他内心汹涌澎湃，毛主席的一番话也成为他日后的重要鞭策。

这段留苏经历，李炳宗至今回忆起来依然历历在目。莫斯科大学的基础理论课通常由资深教授，甚至是院士亲自授课。苏联“原子弹之父”阿尔茨莫维奇院士给他们讲授原子物理，著名理论物理学家朗道为高一届同学讲授多门理论物理，他们的《半导体物理》由教研室主任卡拉什尼科夫讲授。“他们讲课都像背出来一样，从不照本宣科，而且很平易近人……”

始终坚守教学岗位的苏联教授们深刻影响了李炳宗日后的教学理念。

在复旦执教的三十余年岁月里，他先后开设《半导体工艺》、《半导体物理》、《半导体薄膜》等多门课程，为国家培养了四十多名研究生，他们在国内集成电路企业、学校、研究单位发挥着重要作用，或担任公司高管、技术主管，或成为高校教学、科研骨干。此次参与教材编撰的茹国平、蒋玉龙就是他的得意门生。“作为一位德高望众的老师、业界的权威学者，李炳宗丝毫没有架子，总是非常温和谦逊，平易近人。”他的学生如此坦言。

完成教材的编写后，李炳宗仍一如既往关心着集成电路领域的相关新闻。对于这个领域的发展。他用了两个极端的词——“大”和“小”来形容。“大”是集成电路不断向着更大规模发展，至今已经发展到了“Very Large Scale Integration Circuit”；“小”是集成电路从最开始的晶体管可以实现的毫米最小量级，到如今几乎接近1纳米的量级。“这是集成电路领域独有的吸引力和生命力，也是一种学无止境、不断求索的科研精神。”李炳宗说。

在他看来，如今国家对集成电路人才数量与质量需求更高，对微电子技术创新更迫切，对微电子专业年轻教师群体而言，既任重道远，又机遇难得。“在这个飞速发展的领域钻研，需要有敏锐的洞察力，还要记住技术是为人服务的，始终要学会正确地、积极地利用好技术。”他说。

对于有志于从事集成电路行业的青年学子，他的建议是“提升跨学科的能力”，“微电子学科与电子工程、物理、材料等学科关系十分密切，特别需要多学科合作。求学期间多选修其他专业的课程，帮助自己探索前沿课题，取得创新成果。”

如今，复旦微电子人正在集成电路设计、集成电路设计方法学(EDA)、微纳电子材料与器件、集成电路制造工艺、集成电路装备与材料等多个领域，努力突破着前沿关键技术，不断促进“中国芯”技术进展，实现“科研报国”的誓言。李炳宗希望，这本《硅基集成芯片制造工艺原理》的出版，可以进一步助力微电子学科发展，推动高校培养出更高水平的集成电路人才。

组 稿

融媒体中心、微电子学院

文 字

项天鸽、丁思同

责 编

李斯嘉