上海2022年发布信息

《科技创新行动计划》

集成电路领域项目申报指南通知

每个相关单位：

为了深入实施创新驱动发展战略，加快建设具有全球影响力的技术创新中心，上海科学技术委员会根据《上海市建设具有全球影响力的科技创新中心“十四五”规划》，特别发布了2022年《技术创新行动计划》集成电路领域项目申报指南。

请仔细查看申报指南

共谋范围

主题1，尖端技术研究

方向1:主要设备部件和材料

研究内容(1):集成电路工艺试验设备用超宽带光谱光源的研制

执行期间：

2022年8月1日至2024年7月31日。

费用限额：

非定额补贴将支持1个以下的项目，每个补贴不超过500万韩元，企业自助经费和支援经费申请比例不低于233601。

研究内容(2):为化合物半导体工艺开发分子束外延设备的关键部件。

研究内容(3):芯片高级封装用导热石墨烯增强界面热介面材料的开发

主题2，破坏性技术研究

方向1:新材料、新材料、新方法

研究内容(1):并行探针阵列电子束光刻关键技术研究

非定额补贴将支持1个以下的项目，每个补贴不超过500万韩元，企业自助经费和支援经费申请比例为1:1以上。

研究内容(2):基于有机无机杂化金属氧化物的EUV广角干法制备关键技术研究

研究内容(3):叉座场效应晶体管的关键技术研究

研究内容(4):基于高级CMOS工艺的新型SOI晶体管关键技术研究

研究内容(5):新型柔性内存集成设备技术研究

研究内容(6):面向低功耗高带宽需求的多芯片集成技术研究。

2申报要求

除了满足上述相应条件外，还必须遵守以下要求：

1

项目申报单位必须是在本市登记的法人或非法人组织，并具有实施组织项目的相应能力。

2

研究内容已经得到财政资金支持，因此不能重复申报。

3

所有申报机构和项目参与者必须遵守科研道德规范，遵守人类遗传资源管理相关规定和医院微生物实验室生物安全管理相关规定，遵守科研诚信管理要求。项目负责人应当承诺所提交资料的真实性，申报单位应当对申请人的申请资格负责，应当审查申请资料的真实性和完整性，不得提交包含机密内容的项目申请。

4

申报项目回避专家申请时，在提交项目可行性方案的同时，申报机关必须提交公文，提交回避专家名单和理由。

5

已经作为项目负责人担任市科委科学技术计划的两个以上研究项目不能申报为项目负责人。

6

项目经费预算编制必须真实合理，符合市科委科技计划项目经费管理的相关要求。

3申报方法

1

项目申报采用网上申报方式，不需要发送纸质文件。申请人通过“中国上海”门户网站-政务服务”点击“上海财政科技投资信息管理平台”进入申报页面，或通过域名直接进入申报页面。

[首次填写]使用“一网通办公室”登录

[继续填写]以“一网通事务所”的身份登录后，继续报告该项目。

有关操作，请参阅联机帮助。

2

项目在线报告开始时间为2022年7月5日9:00，截止日期(包括申报单位在线审查提交)为2022年7月22日16336030。

四审查方式

采用第一次通信审查方式。

吴立港公示

上海市科委将向社会公布项目目录，接受公众异议。

6咨询电话

服务热线：

021-12345

8008205114(有线)

4008205114(手机)

上海科学技术委员会

2022年6月27日